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济南准分子预混气-准分子预混气体-安徽谱纯气体：

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显而易见，准分子激光气体成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体，除非大量释放到密闭空间会引起窒息外，对人体的危害是有限的，排除惰性稀有气体的危害主要的做法还是通风，增强室内空气的对流。

除了稀有气体之外，准分子预混气体，准分子激光气中的F2是我们采取防范措施的重中之重。很多情况下，济南准分子预混气，准分子激光气体都是以预混的形式进行供应，这些预混气的F2浓度都在1%以下，但足以对人体健康构成威胁，尤其是一些工业和科研应用的准分子激光气，使用的是5%F2+95%He，这类型的气体对人体的危害更为严重。

在准分子激光器全球的医1疗、半导体、光纤、平板显示、材料研究等高1端行业得到广泛的应用，准分子预混气供应，但作为专业的准分子激光气体的重要厂商，我们同时也发现在准分子激光器的使用上，还存在着一些隐忧，笔者想通过这篇文章，以引起相关操作人员的重视。

准分子激光气体的主要成分：

氟化ya（ArF)  193 nm ：F2、Ar、He、Ne；

氟化ke（KrF)  248 nm ：F2、Ar、He、Ne；

氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H2、Xe、Ne

氟化氙（XeF） 351 nm：F2、Xe、He、Ne

显而易见，准分子激光气体成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是无色、无味、无毒、不可燃的惰性稀有气体，准分子预混气批发，除非大量释放到密闭空间会引起窒息外，对人体的危害是有限的，排除惰性稀有气体的危害主要的做法还是通风，增强室内空气的对流。

含氟准分子激光气体

准分子激光气是多组份混合气体，其输出波长是稀有气体（或卤素）结合作用的结果。准分子是稀有气体（或卤化物）的分子的名称。通过含氟准分子激光气体能产生四种波长的光波（或谱线）。

HCl 准分子气体

准分子激光是多气体激光器，其输出波长是稀有气体（或卤素）结合作用结果。准分子是稀有气体（或卤化物）的分子的名称。通过氯化1氢准分子能产生2种波长的光波（或谱线）。

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